電源開功率后，PF輸出功率不穩定，波動范圍很大

1.電源匹配放電后，PF功率跳動范圍很大。輝光閃爍。遇上這種情況時請及時關閉功率輸出。電源功率輸出不穩定極容易燒壞電源。

2.出現這種問題的原因主要是輸出功率太高，可以降低輸出功率。還有就是腔體真空度不穩定，檢查一下腔體的真空度與氣流量是否是恒定的。另外就是匹配不好。最好是用低功率100/200W起輝后再加到需要的功率。因為電源在高功率起輝時容易出現不穩定現象。